氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室維修故障及處理

　　1、燈絲無(wú)法正常啟動(dòng)，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線(xiàn)柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，需要更換燈絲，若不開(kāi)路，檢查其接線(xiàn)柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。

　　2、本底信號處于雜亂無(wú)章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠遠超過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現故障一般用戶(hù)無(wú)法解決，只需對故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理。

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